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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Língua
Inglês
Inglês
Livro
Capa mole
Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share...
Descrição completa
Código Libristo: 02439042
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80 b
80 b
32.83
€
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Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.
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Sobre o livro
Nome completo
Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Autor
B. J. Pawlak, M. L. Pelaz, M. Law, K. Surugo
Língua
Inglês
Inglês
Encadernação
Livro - Capa mole
Data de emissão
2014
Número de páginas
336
EAN
9781107408548
ISBN
1107408547
Código Libristo
02439042
Editoras
Cambridge University Press
Peso
45
Dimensões
152 x 229 x 18
Categorias
