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Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Língua
Inglês
Inglês
Livro
Livro de capa dura
Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share...
Descrição completa
Código Libristo: 02060462
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216 b
216 b
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Materials scientists, silicon technologists and TCAD researchers come together in this book to share experimental results and physical models, discuss achievements and challenges, and identify key issues for future research in this field. The volume focuses on many aspects related to doping of semiconductors (Si, SiGe and Ge) for device fabrication, and explores areas for single-gate as well as multi-gate devices with planar and vertical architectures. Surface properties, coverage, bonding saturation and passivation, and annealing ambient are also discussed.
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Sobre o livro
Nome completo
Doping Engineering for Front-End Processing: Volume 1070
Língua
Inglês
Inglês
Encadernação
Livro - Livro de capa dura
Data de emissão
2008
Número de páginas
319
EAN
9781605110400
ISBN
160511040X
Código Libristo
02060462
Editoras
Materials Research Society
Peso
568
Dimensões
157 x 235 x 23
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