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Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications Hiroyuki Fujiwara
Código Libristo: 04878436
Editoras John Wiley & Sons Inc, janeiro 2007
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond... Descrição completa
? points 436 b
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Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

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Sobre o livro

Nome completo Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Autor Hiroyuki Fujiwara
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Data de emissão 2007
Número de páginas 392
EAN 9780470016084
ISBN 0470016086
Código Libristo 04878436
Editoras John Wiley & Sons Inc
Peso 762
Dimensões 157 x 235 x 26

Categorias

Matemática & ciência > Física > Física ótica
Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Engenharia mecânica & materiais > Ciência dos materiais
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