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Silicon Semiconductor Technology
Processing and Integration of Microelectronic Devices
Língua
Inglês
Inglês
Livro
Capa mole
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...
Descrição completa
Código Libristo: 43050800
?
141 b
141 b
58.37
€
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The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.
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Sobre o livro
Nome completo
Silicon Semiconductor Technology
Autor
Ulrich Hilleringmann
Língua
Inglês
Inglês
Encadernação
Livro - Capa mole
Data de emissão
2023
Número de páginas
276
EAN
9783658410407
Código Libristo
43050800
Editoras
Springer, Berlin
Peso
524
Dimensões
168 x 240
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