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Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration

Língua InglêsInglês
Livro Capa mole
Livro Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration Senn Tobias
Código Libristo: 09187233
Editoras Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG, janeiro 2015
Micro- and Nanostructures significantly influence the physical and chemical properties of surfaces.... Descrição completa
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Micro- and Nanostructures significantly influence the physical and chemical properties of surfaces. Therefore, such structures can be used to functionalize surfaces and adjust the surface properties to the specific requirements of a certain application. A remaining challenge is the integration of functional structures into micro devices to achieve e.g. patterning in 3D, 3D surface structures and sidewall patterning. This work is focused on the development of processes to achieve both, the accurate replication of micro and nanostructures as well as the integration of functional surface structures into micro devices.

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Sobre o livro

Nome completo Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration
Autor Senn Tobias
Língua Inglês
Encadernação Livro - Capa mole
Data de emissão 2015
Número de páginas 180
EAN 9783838150284
ISBN 3838150287
Código Libristo 09187233
Editoras Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG
Peso 272
Dimensões 152 x 229 x 10

Categorias

Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Tecnologia: questões gerais > Engenharia: generalidades
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