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Predictive Simulation of Semiconductor Processing

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Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Predictive Simulation of Semiconductor Processing Jarek Dabrowski
Código Libristo: 01558777
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, maio 2004
Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the s... Descrição completa
? points 488 b
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Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

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Sobre o livro

Nome completo Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Autor Jarek Dabrowski, Eicke R. Weber
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Data de emissão 2004
Número de páginas 490
EAN 9783540204817
ISBN 3540204814
Código Libristo 01558777
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Peso 1028
Dimensões 155 x 235 x 36

Categorias

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