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Passive Chemical Project

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Língua InglêsInglês
Livro Capa mole
Livro Passive Chemical Project Rajendra Parsad
Código Libristo: 02265664
Editoras LAP Lambert Academic Publishing, novembro 2013
The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide sol... Descrição completa
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The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide solutions and was found to be close to the CMP rate reported in the literature. This leads to the new conclusion that copper CMP is mainly a corrosive wear process that occurs at the abraded spots on the wafer surface, the high spots. Cu(I)BTA film forms only at the low areas which are not being abraded. This finding calls for the revision of the conventional view that CMP involves a successive sequence of film formation and removal.

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Sobre o livro

Nome completo Passive Chemical Project
Autor Rajendra Parsad
Língua Inglês
Encadernação Livro - Capa mole
Data de emissão 2013
Número de páginas 216
EAN 9783838333373
Código Libristo 02265664
Editoras LAP Lambert Academic Publishing
Peso 340
Dimensões 150 x 220 x 13

Categorias

Matemática & ciência > Química
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