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Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications

Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Nanopositioning Technologies Changhai Ru
Código Libristo: 09493694
Editoras Springer International Publishing AG, dezembro 2015
This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and ac... Descrição completa
? points 236 b
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This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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Sobre o livro

Nome completo Nanopositioning Technologies
Autor Changhai Ru, Xinyu Liu, Yu Sun
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Data de emissão 2015
Número de páginas 409
EAN 9783319238524
ISBN 3319238523
Código Libristo 09493694
Editoras Springer International Publishing AG
Peso 966
Dimensões 155 x 235 x 29

Categorias

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