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Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization Jea-Gun Park
Código Libristo: 06708211
Editoras Taylor & Francis Inc, fevereiro 2009
Explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mech... Descrição completa
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Explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarization (CMP) process, including dielectric CMP, shallow trend isolation CMP, metal CMP, poly isolation CMP and noble metal CMP. This work also presents design techniques using polymeric additives to improve CMP performance.

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Sobre o livro

Nome completo Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization
Autor Jea-Gun Park
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Data de emissão 2009
Número de páginas 224
EAN 9781420059113
ISBN 9781420059113
Código Libristo 06708211
Editoras Taylor & Francis Inc
Peso 570
Dimensões 156 x 234 x 20

Categorias

Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Tecnologia: questões gerais > Nanotecnologia
Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Química industrial & tecnologias de fabrico > Química industrial e engenharia química
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