Matrices de micro-décharges sur silicium

Le microplasma est en train de devenir un sujet majeur au sein de la communauté du plasma. Les microplasmas comprennent les micro-décharges à cathode creuse (MHCD), les micro-jets et les décharges à barrière diélectrique (DBD). Ils peuvent tous fonctionner à la pression atmosphérique et sont des plasmas non équilibrés. Parmi ces différents types de microdécharges, les MHCD apparaissent comme une configuration de dispositif très prometteuse pour faire passer un courant continu ou alternatif à travers différents gaz. Dans ce réacteur particulier, le microplasma stable est confiné à l'intérieur d'une cavité. Bien que de nombreuses configurations de dispositifs MHCD aient été proposées, aucun système intégré impliquant des MHCD et la microélectronique n'a encore été présenté. L'objectif de ce travail publié est de proposer différents types de microréacteurs en silicium fabriqués par des techniques de microfabrication, de les caractériser par des diagnostics électriques et optiques et de les tester en parallèle pour le traitement des gaz. Il s'agit donc de mieux comprendre les phénomènes physiques liés aux réseaux de microdécharges en silicium.