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Low Dielectric Constant Materials for IC Applications

Língua InglêsInglês
Livro Capa mole
Livro Low Dielectric Constant Materials for IC Applications Paul S. Ho
Código Libristo: 07002286
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG, outubro 2012
Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This compre... Descrição completa
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Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This comprehensive book covers the latest low-dielectric-constant (low-k) materials technology, thin film materials characterization, integration and reliability for back-end interconnects and packaging applications in microelectronics. Highly informative contributions from leading academic and industrial laboratories provide comprehensive information about materials technologies for 0.18 um process technology. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability. This volume will be an invaluable resource for professionals, scientists, researchers and graduate students involved in dielectric technology development, materials science, polymer science, and semiconductor devices and processing.

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Sobre o livro

Nome completo Low Dielectric Constant Materials for IC Applications
Autor Paul S. Ho, Wei William Lee, Jihperng Leu
Língua Inglês
Encadernação Livro - Capa mole
Data de emissão 2012
Número de páginas 310
EAN 9783642632211
ISBN 3642632211
Código Libristo 07002286
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
Peso 510
Dimensões 155 x 235 x 19

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