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Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching

Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching Brian Chapman
Código Libristo: 04887388
Editoras John Wiley & Sons Inc
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge,... Descrição completa
? points 593 b
244.89 €
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Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

Atriz & Poliglota
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Sobre o livro

Nome completo Glow Discharge Processes - Sputtering and Plasma Etching
Autor Brian Chapman
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Número de páginas 432
EAN 9780471078289
ISBN 047107828X
Código Libristo 04887388
Editoras John Wiley & Sons Inc
Peso 706
Dimensões 168 x 244 x 28

Categorias

Matemática & ciência > Física > Eletricidade, eletromagnetismo e magnetismo
Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Tecnologia & engenharia energética > Engenharia elétrica
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