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Chemical-Mechanical Planarization: Volume 767

Língua InglêsInglês
Livro Livro de capa dura
Livro Chemical-Mechanical Planarization: Volume 767 Duane S. BoningKatia DevriendtMichael R. OliverDavid J. Stein
Código Libristo: 02060357
Editoras Materials Research Society, agosto 2003
Chemical-mechanical planarization (CMP) has emerged as a critical fabrication technology for advance... Descrição completa
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Chemical-mechanical planarization (CMP) has emerged as a critical fabrication technology for advanced integrated circuits. Even as the applications of CMP have diversified and we have begun to understand aspects of the physics and chemistry of the process, a new generation of CMP innovations is unfolding. New slurries and consumables are under development. New applications to novel devices continue to appear. This book, the most recent in a successful series on CMP, offers a review of the advances to date and provides a comprehensive discussion of the future challenges that must be overcome. Presentations from academia, government labs and industry are featured. Topics include; CMP modeling; CMP science; CMP slurries and particles for planarization of copper, oxide, and other materials; planarization applications including shallow trench isolation (STI), copper damascene, and novel devices and CMP integration.

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Sobre o livro

Nome completo Chemical-Mechanical Planarization: Volume 767
Autor Duane S. BoningKatia DevriendtMichael R. OliverDavid J. Stein
Língua Inglês
Encadernação Livro - Livro de capa dura
Data de emissão 2003
Número de páginas 348
EAN 9781558997042
ISBN 1558997040
Código Libristo 02060357
Editoras Materials Research Society
Peso 591
Dimensões 157 x 234 x 23

Categorias

Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Eletrónica & engenharia das comunicações > Engenharia eletrónica > Eletrónica: circuitos e componentes
Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Engenharia mecânica & materiais > Ciência dos materiais
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