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Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects

Língua InglêsInglês
Livro Capa mole
Livro Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects Rene Hubner
Código Libristo: 06423929
Editoras Nova Science Publishers Inc, março 2009
Copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance... Descrição completa
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Copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance microprocessors. This book intends to carry out microstructure and functional property investigations for advanced, high-performance Tabased diffusion barriers before and after annealing to compare their thermal stabilities.

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Sobre o livro

Nome completo Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects
Autor Rene Hubner
Língua Inglês
Encadernação Livro - Capa mole
Data de emissão 2009
Número de páginas 102
EAN 9781604564518
ISBN 9781604564518
Código Libristo 06423929
Editoras Nova Science Publishers Inc
Peso 192
Dimensões 153 x 227 x 8

Categorias

Tecnologia, Engenharia & Agricultura > Eletrónica & engenharia das comunicações > Engenharia eletrónica > Dispositivos e materiais eletrónicos
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